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AWL系列半導體晶圓缺陷檢測/國產晶圓搬運機是由高精度光學檢測顯微鏡搭載全自動晶圓搬運系統組成，支持4-12寸的晶圓尺寸，可輕松實現多角度、全視野的宏觀檢查、以及晶圓微觀細節的高清捕捉，可對半導體過程工藝中的關鍵參數、缺陷問題進行有效監控，是晶圓來料檢測和工藝控制流程缺陷分析的高效利器。

更新日期：2026-01-08

型號：AWL系列

廠商性質：生產廠家

AWL046型晶圓缺陷光學檢測設備(半導體晶圓缺陷檢測)是由高精度光學檢測顯微鏡搭載全自動晶圓搬運系統組成。設備兼具穩定性和安全性，能夠安全可靠的傳送晶圓，適合于前道到后道工程的晶圓檢查一個晶圓在經過一系列復雜工序后最終變成多個IC單元，期間晶圓需要依賴搬運機在處理站之間執行快速、精確的傳送作業。

更新日期：2026-01-09

型號：AWL046

廠商性質：生產廠家

MS高精度工具測量顯微鏡結合了金相顯微鏡的高倍觀察能力，和影像測量儀的 X、Y、Z 軸表面尺寸測量功能，具備明暗場、微分干涉、偏光等多種觀察功能。可廣泛應用于半導體、PCB、LCD、手機產業鏈、光通訊、基礎電子、模具五金、醫療器械、汽車行業、計量行業等領域的檢測。

更新日期：2026-01-08

型號：MS系列

廠商性質：生產廠家

MX12R金相顯微鏡物鏡、孔徑光闌等采用電動切換模式，操作更加方便快捷，配置12寸超大移動平臺，為半導體、FPD 檢測提供最佳的應用環境。最大可支持 300mm 晶圓及 17 英寸液晶面板的檢查。

更新日期：2026-01-09

型號：MX12R

廠商性質：生產廠家

MX8R金相顯微鏡采用新照明系統和光學系統，照明均勻，成像清晰。突破性的大金相機架設計，可承載 8英寸超大工作平臺，適用于穩固創新的機械結構更好的滿足專業市場需求。

更新日期：2026-01-09

型號：MX8R

廠商性質：生產廠家

MX68R正置金相顯微鏡最大支持200mm晶圓及11英寸液晶面板的檢查，含 4、6、8 英寸多種轉盤，可適用不同尺寸的晶圓檢查。人機工程學設計全面提升，為用戶提供更加舒適、靈活、快捷的操作體驗。

更新日期：2026-01-09

型號：MX68R

廠商性質：生產廠家

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